纳米是长度单位，1纳米为10的负9次方米，也就是0. 000001毫米。在苏州工业园区，就是这个比细菌还要小得多的纳米，蕴含着一个千亿级的大产业。

日前，国家第三代半导体技术创新中心（苏州）材料生长与装备平台和企业联合研发的首台国产MOCVD（新型气相外延生长技术）设备，首炉试生长成功产出高质量GaN外延片，让苏州工业园区纳米技术应用产业再次聚焦业界目光。

据悉，这台国产MOCVD设备进一步提高了腔体的环境稳定性，通过对核心部件的优化设计，获得比传统商用设备更高的气流可调性和温度一致性，可以满足对外延要求更高的氮化物材料与器件（GaN基Micro-LED等）的外延生长和器件开发。

纳米技术应用是苏州工业园区早在2006年就前瞻性布局的未来产业。聚焦微纳制造、第三代半导体、纳米功能材料、纳米大健康四大重点方向，苏州工业园区精心绘制产业蓝图，大力开展双招双引，积极构建科技创新和成果转化体系，持续优化产业生态，在高性能微球材料、先进半导体材料、高端芯片等多个领域填补国内空白。辖区不仅入选国家先进制造业集群和国家创新型产业集群，还在“中国智能传感器十大园区”“第三代半导体最具竞争力产业园区”榜单中位列榜首，已成为国内最具影响力、最具国际知名度的人才、技术和产业高地，跻身全球五大纳米产业集聚区。截至目前，苏州工业园区已集聚纳米技术应用相关企业1100余家，2022年产值达1460亿元。

2021年，苏州工业园区获批建设国家第三代半导体技术创新中心（苏州）。2年多来，国家第三代半导体技术创新中心（苏州）始终瞄准国家和产业发展全局的创新需求，以关键技术研发为核心使命，着力建设开放共享的公共研发平台。目前，国家第三代半导体技术创新中心（苏州）与全国知名高校、院所、企业设立23个联合研发中心，建立了比肩国际一流科研机构的公共服务平台，产学研协同推动科技成果转移转化与产业化，为第三代半导体产业发展提供源头技术供给。

材料生长与装备平台是国家第三代半导体创新中心（苏州）的四大功能平台之一，围绕国家重大布局和第三代半导体产业应用需求，面向新型显示、电力电子、微波射频和深紫外等应用领域，联合企业、高校院所重点建设外延技术和装备研发的系统能力，致力于建成国际一流的综合型材料创新平台。目前，材料生长与装备平台已承担国家重点研发任务3项，江苏省重点项目任务2项，申请核心专利130项，累计为全国60余家国内企业和科研院校提供支撑服务。

（苏报融媒记者 董捷）