交汇点讯 3月25日，2026年SEMICON国际半导体展在上海拉开帷幕，道达智能科技有限公司的展台前人头攒动。这家位于南京江宁开发区的企业，在展会上正式发布了新一代“天车”产品“腾龙”，这是首台国产磁驱“天车”，打破了日本企业长期在这一领域的垄断。

提起“天车”这个词，一般人可能有些陌生，但对于熟悉半导体行业的人来说，这是生产线上不可或缺的“神器”——它是用来搬运晶圆的一整套运输系统，堪称晶圆工厂的“大动脉”，因为行驶轨道布置在天花板上所以俗称“天车”。

走进道达智能的车间，只见一个白色方盒吊在天花板的轨道下快速移动，到达预定位置稳稳停住，从盒内往下伸出长长的取放装置，准确夹取下方物品后又继续前进，在穿过测速装置时，一旁的屏幕上显示“5.3 m/s”……“这是我们上一代的‘天车’，那边在测试的就是即将发布的新一代磁驱‘天车’，速度更快，可以跑到6米每秒！”顺着道达智能董事长孙俊杰手指的方向，记者看到几位技术人员正在调试新产品。

全球范围内，晶圆工厂使用的“天车”市场，常年被日本两家企业牢牢占据，再具体到磁驱“天车”这一细分赛道，更是只有一家日本企业可以供货。“相比于传统的旋转伺服‘天车’，磁驱‘天车’是更高端的产品，像台积电等先进制程的半导体工厂内基本都是磁驱‘天车’。”孙俊杰介绍，对半导体加工来说，车间洁净度非常重要，通过电磁驱动的方式，“天车”省去了驱动轮与轨道的直接接触，仅这一项就可以大大减少粉尘的产生，与此同时也大幅降低了行驶过程中的震动，更好保护昂贵而脆弱的晶圆片；另一方面，遍布轨道的电线，除了提供磁驱动力外，也是高频控制信号的通道，通过有线通信的方式可以更稳定高效地控制“天车”。

既然磁驱“天车”优点这么多，为何常年被一家公司垄断？“因为研发难度很大。”孙俊杰说，“天车”是一整套软硬件结合的系统，除了“天车”本身的设计制造，还有控制软件的开发，“一个大型晶圆加工车间会配备约2000台‘天车’，其一天的晶圆搬运量相当于1.3倍上海地铁的日客流量。这么密集的运动调度，全靠后台软件控制。”而道达智能正是从软件开发起步，拥有丰富的技术积累。“我们用AI给控制软件赋能，可以实现更精确的调度。”孙俊杰说，除了运行速度从每秒5.3米提升到6米外，新一代“天车”的最小运行间距也从30厘米大幅下降到10厘米，意味着同样长度的轨道上可以布置更多的“天车”，“不但跑得更快，而且挨得更近，运输效率进一步提高。”

新产品取得突破，填补国内空白，正是道达智能一直以来大力投入研发和创新的鲜活注脚。从2022年入驻江宁开发区伊始，公司就与东南大学、南京航空航天大学等高校紧密合作，共同攻克了多项技术难题。目前近300名员工中，研发人员超过一半，公司先后获评国家级专精特新“小巨人”企业、省潜在独角兽企业等。

伴随着国内半导体行业高速发展，“天车”的需求量也不断攀升。今年一季度，道达智能营收超5000万元，保守估计全年营收将超3亿元，比去年翻一番。“我们的磁驱‘天车’已经有了订单，6月份交付。”谈及未来，孙俊杰语气里满是自信与兴奋，“再下一代的新产品也在研发中，我们的国产‘天车’肯定会出现在越来越多的晶圆工厂里。”

新华日报·交汇点记者 季铖